[发明专利]一种多功能的快速换花篮插片机构在审
| 申请号： | 202110900677.0 | 申请日： | 2021-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN113506763A | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 魏玉帅;欧文凯;向亮睿 | 申请（专利权）人： | 普乐新能源科技（徐州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 | 代理人： | 范圆圆 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州市高新技*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多功能的快速换花篮插片机构，包括底座，底座上设有进花篮装置、换花篮装置、插片装置和出花篮装置；换花篮装置包括旋转盘以及固定在旋转盘上的两组花篮升降组件；进花篮装置将空花篮传送至其中一组花篮升降组件；由旋转盘将空花篮转动至和插片装置对齐后，花篮升降组件将空花篮调整至插片位；插片装置用于往空花篮中插入硅片；空花篮插满后，旋转盘将满花篮转动至和出花篮装置对齐，由出花篮装置将满花篮传出；插片动作与花篮传送动作同步进行，能有效减少设备空置时间，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 快速 花篮 机构 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
