[发明专利]一种三氯硅烷的检测前处理方法及检测方法有效
| 申请号： | 202110905705.8 | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN113533600B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 张天雨;任天令;田新;吴鹏 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/06 | 分类号： | G01N30/06;G01N30/02 |
| 代理公司： | 北京锦信诚泰知识产权代理有限公司 11813 | 代理人： | 倪青华 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及检测系统技术领域，尤其涉及一种三氯硅烷的检测前处理方法，常温下，将液态的三氯硅烷喷洒入对氢气进行存储的第一空间内；对第一空间进行压缩，第一空间内的气体向第二空间内流动，且流动过程中保持对第一空间的持续增压状态；当第一空间内的压力增大至第二设定值时，对第二空间进行压缩；第一空间内的气体完成向第二空间内的流通，且第二空间内的压力增大至第一设定值前，完成三氯硅烷的气化。通过本发明使得三氯硅烷可获得均匀的气相而进入到气象色谱仪中，有效降低了设备的损坏几率，通过对三氯硅烷的精准检测，可保证电子级多晶硅的质量得到有效保证，本发明中还请求保护一种三氯硅烷的检测前处理装置、检测方法及装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 检测 处理 方法 | ||
【主权项】：
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