[发明专利]晶圆保持件及研磨机在审
| 申请号： | 202110911273.1 | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN113524027A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 崔凯;田国军 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/32;B24B37/10;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 胡晓静 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆保持件及研磨机，其中，晶圆保持件包括支撑圈和固定环，支撑圈具有相对的第一表面和第二表面，支撑圈的第一表面用于在研磨晶圆时与研磨头连接；固定环设于支撑圈的第二表面上，固定环内周壁设有倒角，倒角设于固定环背对支撑圈的一侧，固定环的内侧形成有用于固定晶圆的固定位，固定环的表面用于在研磨晶圆时与研磨垫接触。本发明改进了晶圆保持件的结构，将晶圆保持件与研磨垫的接触点向晶圆保持件中心的方向偏移，研磨垫形变点由晶圆边缘变成了与晶圆保持件本体接触的位置，避免了由于压力增加而导致的晶圆边缘研磨率增大的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 研磨机 | ||
【主权项】：
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