[发明专利]一种边缘扫描装置及金属沾污检测设备在审
| 申请号： | 202110914183.8 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN115932163A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 于翔;程实然;张怀东;杨超全;崔虎山;刘朋飞;胡冬冬;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 宋天凯 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种边缘扫描装置及金属沾污检测设备，其中，该边缘扫描装置包括：旋转部件，包括承载部，所述承载部用于承载待测试样，所述旋转部件能够带动所述待测试样进行转动；扫描液供给及回收部件，包括喷头，用于吐出和回收扫描液滴；承接部件，包括托臂，所述扫描液滴容纳在所述喷头和所述托臂之间，并能够包裹所述待测试样的边缘部。上述边缘扫描装置可以对待测试样的边缘部进行扫描取样，以为待测试样边缘部的采样检测提供条件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 边缘 扫描 装置 金属 沾污 检测 设备 | ||
【主权项】：
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