[发明专利]一种用于动态检测缺陷的原位真空反应系统在审

专利信息
申请号: 202110915593.4 申请日: 2021-08-10
公开(公告)号: CN113670967A 公开(公告)日: 2021-11-19
发明(设计)人: 董帆;何烨;任琴;孙艳娟;盛剑平 申请(专利权)人: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
主分类号: G01N24/10 分类号: G01N24/10
代理公司: 成都东恒知盛知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51304 代理人: 何健雄
地址: 313000 浙江省湖州市西*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种用于动态检测缺陷的原位真空反应系统,包括电子顺磁共振波谱仪、原位真空反应仓、气路单元、真空单元、光照单元、温控单元、混合瓶,所述电子顺磁共振波谱仪的检测腔体内部放置原位真空反应仓,所述气路单元通过管路连接混合瓶,所述混合瓶通过管路连接原位真空反应仓的进气口,所述真空单元通过管路连接原位真空反应仓的进气口,所述光照单元设置于电子顺磁共振波谱仪前端可拆卸窗口前面,所述温控单元通过管路连接电子顺磁共振波谱仪。通过本发明的系统可在测试过程中加光、通气、变温、真空等原位反应条件下材料的实时监测。此外,测试条件与实际反应相匹配的同时,还可在本发明的系统上设计极端反应来验证实验猜想。
搜索关键词: 一种 用于 动态 检测 缺陷 原位 真空 反应 系统
【主权项】:
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