[发明专利]一种蚀刻液及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202110928638.1 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN113773840B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 金炳生;刘耀鹏;高小云;刘兵 | 申请（专利权）人： | 晶瑞电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 向亚兰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种蚀刻液及其制备方法和应用，该蚀刻液含有(A)醋酸、(B)盐酸、(C)调控剂及(D)水；调控剂包含式(Ⅰ)所示的含有氨基苯基的化合物和/或聚苯胺，调控剂以无机酸盐形式存在， |
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| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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