[发明专利]一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置

摘要

本发明涉及镀膜技术领域，且公开了一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置，包括箱体，所述箱体的一侧内壁活动连接有第一螺纹杆，第一螺纹杆的一侧活动连接有散热箱，所述散热箱的两侧分别固定连接有第一挡板和第二挡板，所述箱体的顶部内壁固定连接有隔板，隔板的一侧开设有取物口，且第一挡板位于取物口内，所述第一挡板的一侧设有防偏机构，所述防偏机构包括第二螺纹杆，第二螺纹杆螺纹连接在第一挡板的一侧。本发明不仅能够对外界进行隔断，防止灰尘进入，提高装置的镀膜质量，同时能够防止产品在镀膜时发生偏移，提高装置的镀膜效果，还能够对产品在进行镀膜前进行清理，提高了产品的洁净度。