[发明专利]一种旋转靶材在审
| 申请号： | 202110959305.5 | 申请日： | 2021-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN113667950A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;赵丽;吴旌 | 申请（专利权）人： | 广东江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 516001 广东省惠州市惠州仲恺高新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种旋转靶材，所述的旋转靶材包括靶材本体，所述的靶材本体为环形结构，所述的靶材本体两侧表面均设置有同轴的凸台，所述的靶材本体和凸台为一体式结构，所述凸台的表面分为中心区域的平面以及外周区域的梯形斜面。在本发明中，提供了一种新的形状设计方案用于铜旋转溅射靶材的使用，在对应旋转靶溅射最深的区域设计了旋转靶管体两端的加厚区和过渡区，既达到能加长溅射寿命的目的，又不会因靶材加厚区域超差影响磁控溅射效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 | ||
【主权项】：
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