[发明专利]显示面板的传送单元及工艺设备在审
| 申请号： | 202110960577.7 | 申请日： | 2021-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN113667957A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 王天昊;兰代江;加新星;刘飞;李端瑞;周杰;祁泽宙;罗楠;党博谭;胡斌;尹茂吉;何然干;刘文豪;雷鑫洋;唐良;熊呈祥;李元星;刘金彪;蒲红均 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 何家鹏;孟维娜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供了一种显示面板的传送单元及工艺设备，显示面板的传送单元用于在各个工艺单元间传送显示面板的衬底基板，显示面板的传送单元包括缓冲室、加热组件、第一温度探测器及控制器。其中，缓冲室包括第一容纳腔，衬底基板置于第一容纳腔内；加热组件置于第一容纳腔内，且加热组件不与衬底基板接触；第一温度探测器置于第一容纳腔内，第一温度探测器配置为获取第一容纳腔内的温度；控制器与加热组件及第一温度探测器电连接，控制器配置为控制加热组件的开启或关闭，以使第一容纳腔内的温度到达目标温度。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 面板 传送 单元 工艺设备 | ||
【主权项】：
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