[发明专利]电子级三(二甲氨基)硅烷的合成装置及合成方法有效

专利信息
申请号: 202110963725.0 申请日: 2021-08-20
公开(公告)号: CN113797568B 公开(公告)日: 2022-12-23
发明(设计)人: 贺玉刚;常欣;王芳;万烨;赵雄;孙强;赵喜哲;李圆晓 申请(专利权)人: 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司
主分类号: B01D3/00 分类号: B01D3/00;C07F7/02
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 张美月
地址: 471023 河南省*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明提供了一种电子级三(二甲氨基)硅烷的合成装置及合成方法。电子级三硅烷的合成装置包括:原料预混合装置、反应单元、加压装置和纯化单元,原料预混合装置设置有氯接收剂入口、氯化二甲胺入口、溶剂入口和混合液出口;反应单元设置有惰性气氛入口、混合液入口、三氯氢硅入口和粗产品出口,混合液入口与混合液出口连通设置;加压装置用于调节反应单元中的压力;及纯化单元设置有纯化入口和排料口,纯化入口与粗产品出口通过粗产品输送管路连通设置。采用上述合成装置对反应原料种类和加料方式进行改变,同时设置加压装置能够降低反应装置中反应温度的波动性,并降低工艺成本。
搜索关键词: 电子 二甲 氨基 硅烷 合成 装置 方法
【主权项】:
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