[发明专利]一种多晶硅棒材料的高洁净度退火方法有效
| 申请号： | 202110970253.1 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN113417010B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 韩颖超;赵佑晨;余正飞;李长苏 | 申请（专利权）人： | 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B33/10;C07C51/60;C07C53/50;C07C45/45;C07C45/46;C07C49/80;C07C17/35;C07C22/04;C07C303/32;C07C309/39;C07C213/04;C07C215/08;C07C |
| 代理公司： | 杭州信与义专利代理有限公司 33450 | 代理人： | 马育妙 |
| 地址： | 310053 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅棒材料的高洁净度退火方法，包括多晶硅棒脱脂清洗、多晶硅棒纯水一次浸泡、多晶硅棒混酸刻蚀、多晶硅棒纯水二次浸泡、多晶硅棒氮气吹干、退火炉清洗、多晶硅棒退火；该多晶硅棒材料表面油脂含量低，且材料体相金属含量低，具有很好的机械加工效果，能够满足芯片制造工艺，并在多晶硅棒脱脂清洗过程中制备了一种脱脂粉，将明胶溶解加入中间体6，在1‑羟基苯并三唑的作用下，中间体6上的羧基与明胶表面的氨基发生脱水缩合，与中间体4继续反应，再用氯乙酸钠进行处理，制得脱脂粉，该脱脂粉能够将自身表面活性分子渗透到油脂中，与多晶硅棒表面隔开，并将油脂乳化分散到水中，达到脱脂效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 材料 洁净 退火 方法 | ||
【主权项】：
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