[发明专利]一种镁基空心纳米材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种镁基空心纳米结构的制备方法，利用团簇束流沉积设备采用多靶磁控等离子体气体聚集法，以高纯氩气作为溅射和缓冲气，将高纯氧气随缓冲气一起通入，且溅射源至少包含一个是以镁为溅射靶材，一个以钯为溅射靶材。将镁、钯靶材电离、加速，形成的纳米颗粒束流高能沉积在衬底上，通过调整团簇束流沉积设备参数、控制氧气通入量，使得到的空心纳米颗粒直径约为50~500 nm，从而制得所述镁基空心纳米材料。本发明利用团簇束流沉积设备所制备出的镁基空心纳米结构，具有优良的结构特性，且产物纯度高，基本没有杂质存在，本发明的生产方式成本低、流程短、设备要求不高，易于放大实验且可实现工业化生产。