[发明专利]一种晶圆棒自动截断方法在审
| 申请号： | 202110983856.5 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN115723258A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 刘振宇;赵国伟;赵子龙;项龙;王建平;郭志荣 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆棒自动截断方法，步骤包括：对晶圆棒进行外观扫描以测绘其长度，并确定所述晶圆棒的有效长度的测量工序；基于所述晶圆棒的有效长度并确定相应分段的划线位置的划线工序；依次在划线位置处对所述晶圆棒进行分段切割的截断工序；在所述划线工序中设有在所述有效长度中选择合适划线长度的判断。本发明截断方法可自动测量晶圆棒长度，并自动完成划线及移动对中，依据优先需求的短棒长度进行判断切割，同时在相应被截断的短棒端面上张贴标识，自动化程度高且精确度高，生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆棒 自动 截断 方法 | ||
【主权项】：
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