[发明专利]一种铜钯银合金键合引线及其制备方法有效
| 申请号： | 202110986678.1 | 申请日： | 2021-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN113699408B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 彭庶瑶;彭晓飞 | 申请（专利权）人： | 江西蓝微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C22C9/00 | 分类号： | C22C9/00;C21D9/52;C22C1/02;C22F1/02;C22F1/08;C25D3/50;C25D7/06;H01L23/49;H01L21/48 |
| 代理公司： | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 | 代理人： | 周松强 |
| 地址： | 343000 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铜钯银合金键合引线及其制备方法，涉及到微电子封装用金属键合丝技术领域，所述铜钯银合金键合引线包括引线本体，所述引线本体表面设置有镀钯保护层，所述引线本体直径为0.015毫米－0.05毫米，所述镀钯保护层厚度为0.2微米－0.6微米。本发明通过设置有延伸炉体，同时利用隔断机构对主炉体与延伸炉体进行隔断，进而可以使得主炉体内部在进行原料熔化前持续保持真空状态，实际使用时仅需要对延伸炉体内部的部分空间进行抽真空处理，相较于现有技术中的同类型工艺，本发明有效减少了工艺开始时所需要的抽真空时间，进而加快工艺效率的同时，还可以节约长时间抽真空所浪费的电力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜钯银 合金 引线 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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