[发明专利]一种掩膜板结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202110993039.8 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN113502450A | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 沈志昇 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种掩膜板结构及其制备方法，其包括掩膜板主体，所述的掩膜板主体上嵌设有金属部件，所述掩膜板主体采用陶瓷或大理石成型，掩膜板主体上对应各金属部件分别设有安装槽，安装槽至少一端为敞口，所述金属部件的横截面形状与安装槽的横截面形状相适配且均为上小下大的形状，金属部件由安装槽的敞口滑入并嵌设于安装槽内，且金属部件连接有限制其在安装槽内横移的限位件。本发明能够提高金属掩膜板的抗形变能力并确保开孔位置的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 板结 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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