[发明专利]薄膜支撑制备高密度粉末颗粒透射电子显微镜样品的方法有效
申请号: | 202110993349.X | 申请日: | 2021-08-27 |
公开(公告)号: | CN113804707B | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
发明(设计)人: | 邓博;雷黎;张静;赵高扬;游才印 | 申请(专利权)人: | 西安理工大学 |
主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04;G01N23/2202;G01N23/2251 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 徐瑶 |
地址: | 710048 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开的一种薄膜支撑制备高密度粉末颗粒透射电子显微镜样品的方法,包括以下步骤:步骤(1)、将粉末样品与酒精、水或者丙酮溶剂混合;步骤(2)、用滴管将分散好的粉末样品混合悬液滴于具有足够平整度的基底上;步骤(3)、环氧树脂排干水分及空气;步骤(4)、薄膜支撑粉末颗粒膜层制备;步骤(5)、将步骤(4)得到的环氧树脂膜支撑的样品在室温下负压条件下固化;步骤(6)、固化后样品表面喷金;步骤(7)、FIB加工步骤(6)得到的样品;步骤(8)、采用等离子体清洗样品表面去除FIB加工过程中掉落的样品和环氧树脂屑。该方法用于离子减薄或FIB粉末样品的加工,可以提升样品加工的准确度和成功率。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 支撑 制备 高密度 粉末 颗粒 透射 电子显微镜 样品 方法 | ||
【主权项】:
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