[发明专利]一种光刻机对接接口模块的调节装置在审
| 申请号： | 202110994998.1 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN113805437A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 叶心阳;夏珊珊 | 申请（专利权）人： | 叶心阳 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01C5/04 |
| 代理公司： | 杭州高盟专利代理事务所(普通合伙) 33402 | 代理人： | 胡智勇 |
| 地址： | 325200 浙江省温州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机对接接口模块的调节装置，包括升降结构，升降结构设立有顶柱，顶柱的顶部侧壁固定连接有顶板，顶板远离顶柱的一侧侧壁四角处均设立有调节装置，调节装置内设立有从动柱，调节装置上转动连接有旋钮，从动柱顶部转动连接有对接板，对接板相邻的两侧侧壁中间均固定连接有管状水准仪，对接板的两侧分别设立有显影机和光刻机，本发明的有益效果：通过固定连接在对接板两侧侧壁上的管状水准仪，能够对对接板的水平度进行有效的调节整，不仅使调整的更加快捷，且精度更准确，通过旋钮的转动能够使其与从动柱产生螺纹连接的特性，从而使从动柱能够进行升降操作，设立有限位柱，能够使从动柱升降的更加稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 对接 接口 模块 调节 装置 | ||
【主权项】：
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