[发明专利]一种钼钛靶坯的制备工艺在审
申请号: | 202110997152.3 | 申请日: | 2021-08-27 |
公开(公告)号: | CN113718212A | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;李建 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;B22F3/04;B22F3/15;B22F3/24;C22C27/04 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种钼钛靶坯的制备工艺,所述制备工艺包括如下步骤:(1)将钼粉和钛粉混合得到混粉料,将所述混粉料进行冷等静压得到压坯;(2)将所述压坯进行脱氢处理,得到脱氢压坯;(3)将所述脱氢压坯进行包套脱气处理和热等静压处理,处理后的样品经过机加工得到钼钛靶坯。本发明提供的钼钛靶坯的制备工艺流程简单,可以将传统脱氢处理的反应时间缩短95%以上,短时间内将钼钛靶坯的氢含量降低至20ppm以下,所得钼钛靶坯产品致密度高,机械性能良好,具有较高的应用价值。 | ||
搜索关键词: | 一种 钼钛靶坯 制备 工艺 | ||
【主权项】:
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