[发明专利]一种CuNi-Al-Mo蚀刻液在审
| 申请号： | 202111000708.3 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN113774382A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王雪刚;凌丽靖;罗志华 | 申请（专利权）人： | 漳州思美科新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 李宁 |
| 地址： | 363118 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种CuNi‑Al‑Mo蚀刻液，包含：硝酸、硫酸、有机酸、硝酸盐化合物和助剂；其中，按重量百分比计，硝酸的含量为2wt％，硫酸的含量为12wt％，有机酸的含量为25wt％‑40wt％，硝酸盐化合物的含量为1.8wt％‑3.2wt％，助剂的含量为0.05wt％‑0.3wt％，其余为水。本发明可有效降低CuNi金属层的蚀刻速率及侧向蚀刻造成的CD Loss，能同时满足最上层的CuNi金属层图案不被过蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cuni al mo 蚀刻 | ||
【主权项】：
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