[发明专利]一种MOCVD设备尾气处理装置在审
| 申请号： | 202111003070.9 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN113521896A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 刘红真 | 申请（专利权）人： | 常州隆立可电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;B01D46/24 |
| 代理公司： | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人： | 吴倩 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MOCVD设备尾气处理装置。本发明的技术方案是：包括车架、设置在车架上的第一滤筒和第二滤筒、连接第一滤筒和第二滤筒的进气单元以及设置在第一滤筒和第二滤筒之间的出气单元，所述第一滤筒和第二滤筒内均设置有滤芯，所述进气单元包括进气三通，所述进气三通的两端分别通过法兰与第一滤筒和第二滤筒内滤芯连通，所述进气三通的中部设置有进气口，所述进气口连接大小头进气法兰，所述出气单元包括出气管，所述出气管连接真空泵。本发明提供的方案使用寿命长且。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mocvd 设备 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】：
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