[发明专利]电极布置、用于电极布置的接触组件、带电粒子束装置和减小电极布置中的电场强度的方法有效
| 申请号： | 202111020667.4 | 申请日： | 2021-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN114188201B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | M·菲恩克斯;F·兰帕斯伯格;C·萨尔维森 | 申请（专利权）人： | ICT半导体集成电路测试有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/12 | 分类号： | H01J37/12;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 德国海*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于作用在带电粒子束设备中的带电粒子束上的电极布置。所述电极布置包括：第一电极(110)，所述第一电极具有用于带电粒子束的第一开口(111)；第一间隔件元件(140)，所述第一间隔件元件定位在设于第一电极中的第一电极侧上的第一凹槽(112)中以用于将第一电极(110)相对于第二电极(120)对准，第一间隔件元件具有第一盲孔(141)；第一导电屏蔽件(150)，所述第一导电屏蔽件设于第一盲孔(141)中；以及接触组件(160)，所述接触组件从第一电极突出到第一盲孔(141)中以用于确保在第一电极(110)与第一导电屏蔽件(150)之间的电接触。另外，描述了一种用于这样的电极布置的接触组件(160)、一种具有这样的电极布置的带电粒子束装置以及一种减小电极布置中的电场强度的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 布置 用于 接触 组件 带电 粒子束 装置 减小 中的 电场 强度 方法 | ||
【主权项】：
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