[发明专利]一种多显微镜定点拍照路径优化方法

摘要

本申请提出一种多显微镜定点拍照路径优化方法，通过扫描拍照完成部分拍摄点的拍摄；在剩余点中采用定点移动方法进行拍摄，按照显微镜和缺陷点距离最近原则进行选点，当出现显微镜干涉时采用补点的方法提前躲避；评估适应度，结束定点拍照路径优化。本方法计算局部和综合适应度，挑选综合最优结果，在实现局部优化的前提实现全局优化，主要协调安排每个缺陷点排序和对应拍照显微镜，考虑了距离和时间因素，合理安排和规划一条路径，保证较短时间内完成拍照。