[发明专利]一种基板刻蚀沟槽装置在审
| 申请号： | 202111044908.9 | 申请日： | 2021-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN113828934A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 于彬;李昂;唐光明 | 申请（专利权）人： | 常州科瑞尔科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/364 | 分类号： | B23K26/364;B23K26/70;B23K26/02 |
| 代理公司： | 南通毅帆知识产权代理事务所(普通合伙) 32386 | 代理人： | 权雪雪 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板刻蚀沟槽装置，属于功率半导体技术领域,包括料篮上料机构1、载盘抓取机构2、激光刻蚀机构3及载盘定位传送机构4，采用专用的料篮，一次可完成多块基板的上料，生产过程中无需人工上下料，提高了生产效率。载板通过专用的定位机构固定，可保证载盘在激光刻蚀的过程中的位置不发生偏移。载盘内可承载多块基板，一次可完成多块基板的图形刻蚀。基板的位置通过定位相机检测，定位精度高，保证图形刻蚀精确。传送机构可调节宽度，可适应不同尺寸的载盘，从而兼容不同尺寸的基板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 沟槽 装置 | ||
【主权项】：
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