[发明专利]一种微球EBSD样品的制备方法在审
| 申请号： | 202111047437.7 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN113933327A | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 郜鲜辉;邓金凤 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 胡秋萍 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微球EBSD样品的制备方法，其包括：将微球分散铺撒在镶样机装料平台上，将导电镶料粉末覆盖于平铺的微球上；对导电镶料先加热熔化、后冷却固化以使微球被导电镶料包埋，形成包埋结构，所述微球包埋于所述包埋结构的底面；对包埋结构的底面进行抛光，暴露出微球的待测截面，形成微球EBSD样品。通过将微球分散铺撒在装料平台上，然后将导电镶料粉末覆盖于平铺的微球上，采用热镶的方式对微球进行包埋，在包埋期间不容易出现微球聚集的现象，所形成的包埋结构中的微球基本处于包埋结构的底面，经过后续对底面的抛光后，可以暴露出更多微球的截面，满足EBSD样品统计分析的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ebsd 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
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