[发明专利]PERC太阳能电池碱抛不良片处理工艺

摘要

本发明公开了一种PERC太阳能电池碱抛不良片处理工艺，包括如下步骤：收集碱抛不良片；在所述碱抛不良片的正面沉积二氧化硅；对所述碱抛不良片进行背面去PSG处理；对所述碱抛不良片进行碱抛处理。本发明通过在硅片衬底背面生长Al2O3薄膜，在Al2O3薄膜表面沉淀三层SiNx薄膜，从而可以提高电池片转换效率。本发明的碱抛不良片无需经过二次制绒、扩散、正面激光开槽、前氧化、背面去PSG等复杂的制程工艺，大大减少了碱抛不良片的处理流程，从而可以提高碱抛不良片的良率和转换效率，降低碱抛不良片的碎片率，进而可以提高产能，达到降本增效的目的。