[发明专利]一种自动升降扫描电镜样品座系统在审
| 申请号： | 202111054920.8 | 申请日： | 2021-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN114188203A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 赵曼;朱振华 | 申请（专利权）人： | 上海磊微科学仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364 | 代理人： | 朱明福 |
| 地址： | 200000 上海市浦东新区自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动升降扫描电镜样品座系统，包括支撑座，所述支撑座底壁内设有动力腔、移动腔与升降槽，所述动力腔内设有驱动电机，所述移动腔内转动连接有与驱动电机连接的第一螺纹杆，所述升降槽内设有支撑块，所述升降槽与支撑块之间设有限位机构，所述支撑块通过连接机构与第一螺纹杆连接，所述支撑块上端面设有用于放置样品的放置槽。本发明通过设置支撑机构与啮合机构，在支撑块下移的时候转块可以通过外壁的齿圈与齿条发生转动，从而通过挤压杆、活动块、保护垫挤压样品外壁对其进行挤压固定，避免使用螺栓等简单结构实现挤压固定功能，装置整体结构合理巧妙，赋予装置科技感也提高了装置的功能性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 升降 扫描电镜 样品 系统 | ||
【主权项】：
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