[发明专利]半导体产品加工机及加工方法在审
申请号: | 202111056163.8 | 申请日: | 2021-09-09 |
公开(公告)号: | CN113687764A | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 娄锋 | 申请(专利权)人: | 合肥钛柯精密机械有限公司 |
主分类号: | G06F3/0488 | 分类号: | G06F3/0488;G06F9/451;G06T7/00;G06T7/73 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 王燕 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本申请涉及半导体加工技术领域,特别涉及一种半导体产品加工机及加工方法,其中,加工机包括:图像识别装置,用于采集加工工件的当前图像;对射式传感器,用于检测刀具尖端所处位置的实际坐标;全自动调教机台,用于基于预设的零位坐标生成目标加工动作,抬高主轴位置,控制加工工件执行目标加工动作,并且在完成半导体产品的加工后,基于当前图像和/或实际坐标将加工工件的位置重新调教到零位坐标对应的位置。由此,解决了相关技术中通过手动加工半导体产品及调节主轴偏差,导致半导体产品精度、良品率及生产效率较低等问题。 | ||
搜索关键词: | 半导体 产品 加工 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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