[发明专利]基板干燥装置在审
| 申请号： | 202111056537.6 | 申请日： | 2021-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN114234569A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 申熙镛 | 申请（专利权）人： | 无尽电子有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B23/04;F26B25/02;F26B25/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 杨黎峰;石宝忠 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种包括基板干燥腔室的基板干燥装置，该基板干燥腔室包括上壳体；下壳体，其联接至上壳体以被打开或关闭；晶片放置板，其联接至下壳体的底表面并且在晶片放置板上放置形成有机溶剂的基板；集成式供应/排出端口，其形成为从下壳体的侧表面延伸至下壳体的中间区域，并且形成为在下壳体的中间区域中面向基板放置板并且提供初始加压用超临界流体的供应路径和其中溶解了形成在基板上的有机溶剂的混合流体的排出路径；以及上供应端口，其形成为在上壳体的中心区域中面向基板放置板以提供干燥用超临界流体的供应路径；和柔性供应/排出管，其联接至下壳体的侧表面以提供初始加压用超临界流体通过其被供应至基板干燥腔室的路径以及混合流体通过其被从基板干燥腔室排出的路径，并具有螺旋线圈形状。 | ||
| 搜索关键词： | 干燥 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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