[发明专利]石英管清洗装置及清洗方法有效
| 申请号： | 202111059562.X | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN113500070B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 华斌;周训丙;万帮勇;李文轩 | 申请（专利权）人： | 智程半导体设备科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/28 | 分类号： | B08B9/28;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32351 | 代理人： | 储振 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种石英管清洗装置及清洗方法，该石英管清洗装置包括底部具敞口的清洗罩，与清洗罩沿垂直方向活动插接装配的底座，设置于底座内并箍持石英管的承载台，以及驱动装置；清洗罩的顶部设置第一喷嘴，清洗罩的侧壁竖直设置若干第二喷嘴，承载台垂直设置内喷管，内喷管位于承载台上方的顶部和侧部设置若干第三喷嘴；底座嵌设回旋密封装置，内喷管沿垂直方向连续贯穿承载台与回旋密封装置；驱动装置驱动承载台旋转，内喷管在承载台旋转过程中保持静止。通过申请，实现了对各种尺寸的石英管进行高效清洗作业，能够满足不同直径石英管清洗的需求，简化了石英管清洗装置的结构并提高了使用寿命，避免了石英管在清洗过程中造成损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 石英管 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
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