[发明专利]一种OLED器件支撑柱的结构及其制作方法

摘要

本发明公开了一种OLED器件支撑柱的结构及其制作方法，包括玻璃基板，玻璃基板上沉积有金属遮光层，且金属遮光层上面沉积一层缓冲层，缓冲层上沉积溅射一层有源层；有源层上沉积一层栅极绝缘层，栅极绝缘层上溅射一层金属栅极，金属层经过曝光显影蚀刻脱膜形成金属源极和金属漏极，金属源极和金属漏极通过钝化层的开孔图案与下层导体化后的非沟道区域的有源层进行欧姆搭接，并且金属源极与下层的金属遮光层搭接在一起。本发明可以增加玻璃基板与掩膜板的吸附力，减少了掩膜板和玻璃基板的缝隙，减少蒸镀薄膜的阴影区域的长度，避免混色异常的出现，并且避免了玻璃基板在掩膜板上滑落和掩膜板摩擦划伤的风险。