[发明专利]一种具有复合膜层的声表面波装置有效
| 申请号： | 202111087051.9 | 申请日： | 2021-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN113794458B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 封琼;王为标;许志斌;陆增天;李壮 | 申请（专利权）人： | 无锡市好达电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 过顾佳 |
| 地址： | 214124 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有复合膜层的声表面波装置，涉及声表面波器件领域，该声表面波装置复合膜层和叉指电极，叉指电极形成于复合膜层上方，复合膜层中的任意一个界面处形成有图案化结构，图案化结构为凹槽阵列图形，凹槽阵列图形呈定周期或变周期分布。通过在复合膜层中的任意一个界面处采用刻蚀工艺进行图形化处理，形成凹槽结构，可以有效散射高阶杂波响应，通过调节图形的深度与径向大小，可以减小甚至消除不同频段的高阶杂波，提高阻带抑制能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 复合 表面波 装置 | ||
【主权项】：
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