[发明专利]一种机械化学研磨保持环的表面处理方法有效
| 申请号： | 202111091085.5 | 申请日： | 2021-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN113732935B | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;冯周瑜;罗明浩 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种机械化学研磨保持环的表面处理方法，所述表面处理方法包括如下：对保持环的金属面依次进行第一研磨和第二研磨，对所述保持环的塑料面进行第三研磨；所述第一研磨中对保持环施加有0.3‑0.7MPa的压力；所述第二研磨中对保持环施加有0.8‑1.2MPa的压力。本发明提供的表面处理方法，通过对处理过程的特定设计，采用特定的处理过程保证得到的保持环具有良好的使用性能，显著提升了机械化学研磨中的研磨效率，进一步地的也延长了保持环的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械 化学 研磨 保持 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
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