[发明专利]一种MEMS传感器热学参数测试装置在审
| 申请号： | 202111096035.6 | 申请日： | 2021-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN113884122A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 林启者 | 申请（专利权）人： | 温州大学 |
| 主分类号： | G01D18/00 | 分类号： | G01D18/00 |
| 代理公司： | 杭州高盟专利代理事务所(普通合伙) 33402 | 代理人： | 单燕君 |
| 地址： | 325006 浙江省温州市瓯海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS传感器热学参数测试装置，包括顶板，顶板顶部侧壁中间固定连接有集成箱，顶板内部设立有内槽，内槽内底部侧壁中间固定连接有放置板，放置板内连接有盛放板，内槽内底部侧壁且靠近放置板一侧侧壁的位置开设有四个线槽，内槽内部上方设立有照射板，顶板底部固定连接有底座，底座内部一角设立有安装槽，安装槽内连接有风机，本发明通过将冷却水经由暂存箱送进存放管内，从而使吹出的风温度较低，以此降低内槽中的温度，从而测试传感器对于温度变换敏感性和精准性，通过主伸缩杆和辅助伸缩杆的配合能够调节照射板的高度和角度，以此来测试传感器对不同方位热源的感应能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 传感器 热学 参数 测试 装置 | ||
【主权项】：
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