[发明专利]工艺参数根因定位方法和相关装置有效
申请号: | 202111104580.5 | 申请日: | 2021-09-22 |
公开(公告)号: | CN113552856B | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 成都数之联科技有限公司 |
主分类号: | G05B19/418 | 分类号: | G05B19/418 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 冯洁 |
地址: | 610000 四川省成都市*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明的实施例提供了一种工艺参数根因定位方法和相关装置,方法包括:分别将制程参数和样本产出时间划分为多个子区间,得到多个第一子区间和多个第二子区间;分别针对每个第一子区间和每个第二子区间,确定各第一子区间的中位数,生成第一参数数据,确定各第二子区间的中位数,生成第一时间数据;对样本标签和第一参数数据进行第一处理后,得到参数趋势波动的相关系数;对样本标签、制程参数数据以及第一时间数据进行第二处理,得到参数时序趋势波动的相关系数;基于参数趋势波动的相关系数和参数时序趋势波动的相关系数,计算得到制程参数综合指标。兼顾参数趋势波动和参数时序趋势波动与标签波动的相关性分析,从而有效识别可疑参数。 | ||
搜索关键词: | 工艺 参数 定位 方法 相关 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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