[发明专利]可密封容器在审
| 申请号： | 202111111604.X | 申请日： | 2016-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113741376A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 莫尔·阿扎耶;迈克尔·布雷恩;阿米·阿佩尔博姆;沙伊·马克;阿里·奥罗曼 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请实施例涉及一种可密封容器，其用于将一或多个衬底运送通过半导体工厂，其包括：外壳，其经配置以容纳仪器化衬底，其中所述仪器化衬底包含一或多个传感器，其中所述一或多个传感器经配置以在所述可密封容器将所述仪器化衬底运送通过所述半导体工厂的一或多个部分时测量所述仪器化衬底的一或多个条件，其中所述仪器化衬底包含衬底通信电路以及以通信方式耦合到所述一或多个传感器及所述衬底通信电路的一或多个处理器；及容器通信电路，其中所述衬底通信电路经配置以将传感器数据从所述一或多个传感器发射到所述容器通信电路，其中所述容器通信电路经配置以将所述传感器数据发射到服务器的服务器通信电路。 | ||
| 搜索关键词： | 密封 容器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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