[发明专利]一种探针卡针脚修复整形装置在审
申请号: | 202111112403.1 | 申请日: | 2021-09-23 |
公开(公告)号: | CN113937593A | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 万士元;沈达;钱宇 | 申请(专利权)人: | 吾拾微电子(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01R43/16 | 分类号: | H01R43/16 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215124 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种探针卡针脚修复整形装置,包括作业台、镜座、麦拉校准座、探针卡托架、气动夹具、显微镜、折射补偿机构、麦拉片载具、光轴、校准机构,所述作业台外侧配套设置镜座和麦拉校准座,所述作业台台面两侧对称布置一对探针卡托架,所述探针卡托架集成有气动夹具,所述探针卡托架之间竖直向下布置有设置在镜座上的显微镜,所述显微镜镜头处外挂有折射补偿机构。通过上述方式,本发明提供一种探针卡针脚修复整形装置,通过不断对触点点位位置与针脚的对比观察,能快速找出异位针脚并校准修复,整形后的探针卡即可快速恢复正常使用,具有操作方便、成功率高等特性。 | ||
搜索关键词: | 一种 探针 针脚 修复 整形 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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