[发明专利]半导体装置在审

专利信息
申请号: 202111113746.X 申请日: 2021-09-23
公开(公告)号: CN114335137A 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 工藤和树;藤井秀纪;高桥彻雄 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L27/06
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 何立波;张天舒
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 得到降低了RC‑IGBT的二极管区域的恢复损耗的半导体装置。本发明涉及的半导体装置为IGBT区域(10)和二极管区域(20)相邻地设置的RC‑IGBT。在二极管区域(20)中设置:p型阳极层(25),其与n型漂移层(1)相比设置于第1主面侧;p型接触层(24),其设置于p型阳极层(25)的主面侧且设置于半导体基板的第1主面侧的表层,该p型接触层(24)与发射极电极(6)连接;以及n+型阴极层(26),其设置于半导体基板的第2主面侧的表层。p型接触层(24)含有铝而作为p型杂质,p型接触层(24)的厚度比在IGBT区域(10)设置的n+型源极层(13)的厚度小。
搜索关键词: 半导体 装置
【主权项】:
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