[发明专利]污染检测方法、分光检测方法、分光管理方法及系统在审
| 申请号： | 202111121098.2 | 申请日： | 2021-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN113866135A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 刘轩;刘骏;张嘉鸿;谭艳娥;黄新青;幸刚;蔡建镁 | 申请（专利权）人： | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 黄勇;任志龙 |
| 地址： | 518051 广东省深圳市南山区桃源街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种污染检测方法、分光检测方法及分光检测系统，污染检测方法包括：采用检测光照射透明转盘的置料位，以使检测光穿过透明转盘；基于穿出透明转盘的检测光，确定测定参数；基于测定参数与原始参数，获取偏差参数；其中，原始参数对应于检测光自然照射状态下的光学参数，偏差参数能够反映透明转盘的污染程度；基于偏差参数与偏差阈值，输出清洁信号；其中，偏差阈值与透明转盘的污染程度相关联。本申请能够及时判断出当前透明转盘的置料位的污染情况是否需要清洁，以便对透明转盘上的污染进行更为及时的清洁，从而减少因透明转盘上污染未被及时清洁而降低分光机对LED检测精度的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 污染 检测 方法 分光 管理 系统 | ||
【主权项】：
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