[发明专利]老化测试系统在审
| 申请号： | 202111124563.8 | 申请日： | 2021-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN113777473A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 彭聪;李康 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H05K7/20 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 谭玲玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种老化测试系统。老化测试系统用于对芯片进行老化测试，老化测试系统包括：第一测试板，用于安装芯片；壳体，壳体位于第一测试板的下方且与第一测试板围绕形成容纳腔；第二测试板，第二测试板位于容纳腔内且与第一测试板电连接；散热板，位于容纳腔内且与壳体的内表面之间具有预设间隙，散热板包括第一配合部；降温装置，包括第二配合部和降温结构，降温结构用于对第二配合部进行降温；其中，第二配合部与第一配合部相接触，第一配合部用于将第二测试板上产生的热量传递至第二配合部上。本发明有效地解决了现有技术中老化测试系统内热量过大而影响测试系统的测试精度和使用寿命的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 老化 测试 系统 | ||
【主权项】：
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