[发明专利]一种基于聚焦离子束加工的电子显微三维重构地质样品制样方法在审
| 申请号： | 202111141302.7 | 申请日： | 2021-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN113899765A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 杨宜坪;鲜海洋;邢介奇;席佳鑫;马灵涯;魏景明;朱建喜;何宏平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院广州地球化学研究所 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N23/20008;G01N23/20;G01N1/28;G01N1/32 |
| 代理公司： | 郑州欧凯专利代理事务所(普通合伙) 41166 | 代理人： | 杨岭 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于聚焦离子束加工的电子显微三维重构地质样品制样方法，涉及地质行业检测技术领域，所述方法包括以下步骤：S1、将地质目标样品采用机械切割加工出平整的光滑表面；S2、对感兴趣区域沉积保护层，且沉积保护层的厚度为2‑4μm；S3、提取感兴趣区域样品，并将提取出来的样品焊接到透射电子显微镜用的载网上；S4、用聚焦离子束将提取的样品加工为针状，直到加工至电子束可穿透的厚度，然后获得可在透射电子显微镜下进行三维重构数据采集的样品。该发明提供一种能够实现360°全角度电子显微三维重构数据采集的地质样品制备方法，不会因为样品本身的形状限制产生楔形数据缺失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 聚焦 离子束 加工 电子 显微 三维 地质 样品 方法 | ||
【主权项】：
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