[发明专利]一种提高丝锥切削精度和使用寿命的方法在审

专利信息
申请号: 202111146707.X 申请日: 2021-09-28
公开(公告)号: CN113943927A 公开(公告)日: 2022-01-18
发明(设计)人: 赵静宜;赵玉清 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/22;C23C14/06
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 陈翠兰
地址: 710049 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种提高丝锥切削精度和使用寿命的方法,首先将丝锥刀缝中的油脂刷掉,然后放入超声波清洗槽,对丝锥进行去油清洗处理,清洗结束后脱水风干后置于真空室;启动一个冷阴极的气体离子源,采用氩离子轰击丝锥表面,然后启动电弧离子源,形成电弧放电,在石墨阴极靶上产生电弧放电,进而在阳极筒内产生碳等离子体;通过一个电极将碳等离子体引出放电室,并经过一个磁场过滤,过滤掉中性和多分子石墨粒子,形成单碳离子流;将单碳离子流通过一个磁透镜聚焦后形成离子束,再通过一个偏转磁场扫描,配合转台将离子束形成一个沉积面,沉积在丝锥上,形成非晶四面体碳涂层。
搜索关键词: 一种 提高 丝锥 切削 精度 使用寿命 方法
【主权项】:
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