[发明专利]晶圆承载台自动清洁监控系统、监控方法及可读存储介质在审
| 申请号： | 202111149897.0 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN113946613A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 韩洋;黄俊;徐晓敏 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G06F16/25 | 分类号： | G06F16/25;G06F16/248;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭立 |
| 地址： | 201315 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆承载台自动清洁监控系统，包括：晶圆曝光数据获取单元，数据共享单元，数据分析单元和执行单元；晶圆曝光数据获取单元用以获取机台内底层曝光文件，对曝光文件进行解析，提取平坦度数据，并传输至数据共享单元；所述数据共享单元，用以存储平坦度数据，并向数据分析单元提供数据共享接口；数据分析单元，用以分析平坦度数据，将平坦度数据转换形成趋势图，判断趋势图中的数据是否超过预设阈值，如数据超过所述预设阈值，发送预警指令至所述执行单元；执行单元，根据所述数据分析单元发送的预警指令向机台发送清洁晶圆承载台的控制指令。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 自动 清洁 监控 系统 方法 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力集成电路制造有限公司，未经上海华力集成电路制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111149897.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种五谷代餐粉包装设备
- 下一篇：一种基于铰链结构的间隙可控机械密封装置
