[发明专利]一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置及排液管在审
| 申请号： | 202111153415.9 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN113797623A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 徐波;谈仁翌 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/03 | 分类号： | B01D29/03;B01D29/60 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置及排液管，其中，过滤装置设置在排液管之间，所述过滤装置包括：液位感应器，过滤网，设有至少一个进液口和至少一个排液口的过滤容器；所述过滤网放置在所述过滤容器内，所述液位感应器设置在所述过滤容器侧壁外侧，且位于所述过滤网与所述进液口之间。本发明提供的用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置及排液管，能够避免污液中的固体碎屑在排液管中发生堆积堵塞，减少了设备发生宕机的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 背面 设备 排液管 过滤 装置 | ||
【主权项】：
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