[发明专利]测试结构、方法与电子设备在审
| 申请号： | 202111155788.X | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN113933673A | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 王志强 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 霍文娟 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种测试结构、方法与电子设备。该结构包括：测试矩阵、M个第一测试电极、N个第二测试电极，其中，每个测试单元行包括M个测试单元，一个测试单元由一个待测试器件和一个开关器件串联形成；M个第一测试电极沿测试矩阵的行方向设置；N个第二测试电极沿测试矩阵的列方向设置，位于第P行第Q列上的测试单元的第一端与第P个第一测试电极电连接，测试单元的第二端与第Q个第二测试电极电连接，其中，M≥1，N≥1，1≤P≤M，1≤Q≤N，本方案，节省了测试焊垫的数量，进一步地节省了晶圆面积，减少了测试消耗的时间，降低了测试成本且提升了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 结构 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
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