[发明专利]一种薄膜检测方法、装置、终端设备及存储介质有效

专利信息
申请号: 202111158333.3 申请日: 2021-09-30
公开(公告)号: CN113884403B 公开(公告)日: 2022-05-17
发明(设计)人: 应小维;曹生轩;朱晓宇;魏东;袁海江 申请(专利权)人: 滁州惠科光电科技有限公司;惠科股份有限公司
主分类号: G01N3/56 分类号: G01N3/56
代理公司: 深圳中一专利商标事务所 44237 代理人: 张海燕
地址: 239000 安徽省滁*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 本申请适用于薄膜检测技术领域,提供了一种薄膜检测方法、装置、终端设备及存储介质。本申请实施例中以预设测试负载对待测样品的薄膜预设区域进行摩擦测试;确定上述薄膜预设区域的薄膜磨损曲线;上述薄膜磨损曲线为上述薄膜预设区域内的各个位置与磨损深度之间的对应关系曲线;根据上述薄膜磨损曲线确定上述待测样品的薄膜强度,从而提高了检测薄膜强度的效率。
搜索关键词: 一种 薄膜 检测 方法 装置 终端设备 存储 介质
【主权项】:
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