[发明专利]一种晶圆自动分选机在审
| 申请号： | 202111158975.3 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN113751368A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 卢国强 | 申请（专利权）人： | 深圳市优界科技有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/342 | 分类号： | B07C5/342 |
| 代理公司： | 深圳市查策知识产权代理事务所(普通合伙) 44527 | 代理人： | 曾令安 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆自动分选机，属于晶圆生产设备技术领域，包括底箱、光学检测机、晶圆支撑板、晶圆盛放部、第一驱动部、第二驱动部、抽吸部以及转盘，所述晶圆支撑板活动安装在所述转盘侧壁，所述第一驱动部安装在所述底箱内部，第一驱动部输出端与所述转盘相连，用于带动所述转盘间歇转动，所述晶圆盛放部设置在所述底箱一侧，用于对待检测的晶圆进行盛放，所述第二驱动部以及所述抽吸部均安装在所述转盘一侧。本发明实施例相较于现有技术，能够实现待检测晶圆的自动上料，从而提高了晶圆的安装精度以及检测效率，极大程度的降低了晶圆的检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 分选 | ||
【主权项】：
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