[发明专利]工业用机器人的手和工业用机器人在审
| 申请号： | 202111170058.7 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN114378851A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 细川正己 | 申请（专利权）人： | 日本电产三协株式会社 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 沈捷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够可靠地保持晶圆而防止掉落的工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。手(14)具备装载晶圆(2)的晶圆装载部(14a)和能够按压装载于晶圆装载部(14a)的晶圆(2)的端面的辊(145a)，辊(145a)的外周面(145a1)为直径从装载于晶圆装载部(14a)的晶圆(2)的背面侧朝向正面侧变大的锥面。 | ||
| 搜索关键词： | 工业 机器人 | ||
【主权项】：
暂无信息
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