[发明专利]差压传感器及其使用方法在审
| 申请号： | 202111172229.X | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN114295281A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 萨斯什·瓦德拉穆迪;曼杰什·库马尔·B;苏德黑尔·比利杰尔·斯雷拉穆 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01L13/00 | 分类号： | G01L13/00;G01L19/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘桢;张一舟 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明各种实施方案涉及压力传感器及其使用方法。压力传感器可包括：衬底，该衬底具有在第一衬底表面和第二衬底表面之间延伸的衬底厚度，其中该第一衬底表面和该第二衬底表面限定该衬底厚度的相对端；第一压力感测组件，该第一压力感测组件附接到该第一衬底表面并且被配置为检测与第一流体体积相关联的第一压力，其中该第一衬底表面的与该第一压力感测组件相邻的一部分与该第一体积的流体流体隔离；和第二压力感测组件，该第二压力感测组件附接到该第二衬底表面并且被配置为检测与第二体积的流体相关联的第二压力，其中该第二衬底表面的与该第二压力感测组件相邻的一部分与该第二流体体积流体隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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