[发明专利]一种ATO靶材前驱体及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202111186924.1 | 申请日： | 2021-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN113831120A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 刘永成;陈明飞;郭梓旋;徐胜利;江长久;陈明高;莫国仁;王志杰;李跃辉 | 申请（专利权）人： | 长沙壹纳光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622;C23C14/34;G02F1/1343 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 赵琴娜 |
| 地址： | 410000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种ATO靶材前驱体及其制备方法与应用，该前驱体制备原料包括以下组分：氧化锡和氧化锑；所述氧化锑的质量分数为0.15％～1.8％；所述ATO靶材前驱体的比表面积在15m |
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| 搜索关键词： | 一种 ato 前驱 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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