[发明专利]真空互联系统及其自动传输方法在审
| 申请号： | 202111189908.8 | 申请日： | 2021-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN114108079A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 王新;陶章峰 | 申请（专利权）人： | 材料科学姑苏实验室;埃特曼（苏州）半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B23/02 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 艾中兰;王锋 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空互联系统及其自动传输方法，真空互联系统包括样品传递室、MOCVD托盘通道、MBE托盘通道及自动输送通道，MOCVD托盘通道与样品传递室相连，用于将MOCVD系统的承载有样品的MOCVD托盘输送给样品传递室；MBE托盘通道与样品传递室相连，用于将MBE托盘输送给样品传递室；自动输送通道与样品传递室相连，用于将样品传递室内MOCVD托盘上的样品转移到MBE托盘上，并将承载有样品的MBE托盘输送给MBE托盘通道；MBE托盘通道还用于将承载有样品的MBE托盘输送给MBE系统。本发明实现了MOCVD系统和MBE系统的直接互联，且实现样品在高温、真空环境条件下的自动化传输。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 联系 及其 自动 传输 方法 | ||
【主权项】：
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